技術(shù)參數(shù)
|
1.線性精度: U1=3+L/200um 。
|
2.重複精度: 3um。
|
3.外觀尺寸: 670 x660 x950 mm。
|
4.測量景深:150mm/30mm.
|
5.機臺定位精度:±0.002mm.
|
6.量測行程: 200*100*300mm (X,Y)。
|
產(chǎn)品特點
|
本機采用高精度光柵尺。高速非接觸操作,可證
零摩擦和零機器磨損,開放式光學(xué)設(shè)計保證了高性能,
周期誤差通常上于±0.25um,線性誤差特性為每
60mm±1um.
|
東莞市利拓檢測儀器有限公司
地 址:東莞市厚街鎮(zhèn)財興東路6號
(東莞市利拓檢測儀器)
傳 真:0769-81551969
手 機:13922534049
聯(lián)系人:謝經(jīng)理
郵 箱:[email protected]
網(wǎng) 址:53ting.cn